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基于復合帶寬積分平均衍射效率的傾斜誤差研究 [Early Posting]

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摘要

在裝調過程中引入的傾斜誤差會影響衍射光學元件的衍射效率。入射角度的增大也會影響衍射光學元件的衍射效率。基于多層衍射光學元件的位相延遲表達式,提出了斜入射時衍射效率和帶寬積分平均衍射效率與傾斜誤差的理論關系模型。分析了斜入射時傾斜誤差對衍射效率和帶寬積分平均衍射效率的影響。建立了工作在一定入射角度范圍內的復合帶寬積分平均衍射效率與傾斜誤差的關系。當工作在8~12um波段的多層衍射光學元件的入射角度范圍為0~20°時,若要實現98%的復合帶寬積分平均衍射效率,傾斜誤差角度應控制在范圍0.25°內。進一步分析了存在偏心誤差和相對微結構高度誤差等其它誤差因素時,要達到一定的復合帶寬積分平均衍射效率對應的傾斜誤差大小。該方法和結論可以用于指導混合光學系統中多層衍射光學元件的設計與裝調。

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補充資料

DOI:10.3788/aos202040.0805001

作者單位:

    鹽城師范學院
    鹽城師范學院物理系
    鹽城師范學院
    鹽城師范學院
    鹽城師范學院 物理與電子工程學院
    鹽城師范學院

引用該論文

楊亮亮,劉成林,陸法林,童巧英,趙勇兵,郭仁. 基于復合帶寬積分平均衍射效率的傾斜誤差研究[J].光學學報,2020,40(08):0805001.

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