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 液晶可調諧VCSEL中高對比光柵結構的設計

鄭舟 鄒永剛 石琳琳 房俊宇 王海珠 范杰 崔超 徐莉 馬曉輝

[摘要]基于嚴格耦合波理論設計了一種以液晶為低折射率材料的Si-SiO2復合高對比光柵,該光柵適合用于實現液晶可調諧功能的垂直腔面發射半導體激光器件。當940 nm 的TM偏振光入射時,通過優化參數可得到寬帶(Δλ=256 nm)高反射...

 PDF全文激光與光電子學進展 | 2020, 57(01):011402

 可調諧VCSEL的低應力MEMS懸臂結構設計

裴麗娜 石琳琳 王小龍 范 杰 王海珠

[摘要]針對GaAs基和InP基材料的波長可調諧垂直腔面發射激光器(VCSEL)中微機電系統(MEMS)應力集中引起結構損壞的問題開展研究。設計了蝴蝶結狀MEMS懸臂結構, 在保證最大位移不變的情況下, 降低了懸臂固定端所受的米塞斯應力...

 PDF全文紅外與激光工程 | 2019, 48(04):0420002

 基于金屬掩模的全息光刻微納光柵制備工藝

龔春陽 范杰 鄒永剛 王海珠 趙鑫 馬曉輝 崔超 宋子男

[摘要]優化設計了基于金屬掩模的全息光刻微納光柵制備工藝方案,基于GaAs襯底利用全息光刻和感應耦合等離子體(ICP)干法刻蝕技術制備出周期為860 nm的光柵圖形。將磁控濺射生長的金屬硬掩模作為光柵刻蝕的阻擋層引入到刻蝕工...

 PDF全文中國激光 | 2019, 46(12):1203001

 離子后處理對TiO2光學薄膜及損傷特性的影響

毛思達 鄒永剛 范 杰 蘭云萍 王海珠 張家斌 董家寧 馬曉輝

[摘要]為了進一步提高TiO2薄膜的光學特性和激光損傷閾值, 采用電子束蒸發技術在K9玻璃上沉積了單層TiO2薄膜, 并用Ar/O混合等離子體對樣品進行后處理。通過研究薄膜光譜特性、表面缺陷密度、薄膜表面形貌、薄膜損傷閾值以及...

 PDF全文光學 精密工程 | 2019, 27(07):1451

 緊湊型準連續泵浦調Q Nd∶YAG激光器

劉宇乾 張 賀 金 亮 徐英添 王海珠 鄒永剛 馬曉輝 李 巖

[摘要]本文設計了一種緊湊型端面泵浦電光調Q Nd∶YAG激光器。為實現激光器整體結構緊湊, 以快軸準直后的半導體激光器疊陣(Laser Diode Arrays,LDAs)作為泵浦源。使用焦距分別為40 mm和25 mm的球面鏡和柱面鏡將泵浦光耦合至...

 PDF全文中國光學 | 2019, 12(02):413

 高反射光學薄膜激光損傷研究進展

董家寧 范 杰 王海珠 鄒永剛 張家斌 侯春鴿

[摘要]激光誘導損傷閾值是大功率光學系統中重要參數, 其數值大小對激光系統的輸出功率與穩定性具有重要影響。為了突破損傷閾值對激光光學系統輸出功率的限制, 科研人員主要從制備薄膜工藝、激光特性、薄膜特性以及薄膜后工...

 PDF全文中國光學 | 2018, 11(06):931

 激光干涉光刻制備976 nm分布反饋式激光器光柵

白云峰 范杰 鄒永剛 王海珠 海一娜 田錕

[摘要]分布反饋式(DFB)半導體激光器具有優良的穩定性和單模性, 廣泛應用于激光器抽運和光通信等領域。光柵作為DFB激光器的關鍵部件, 對激光器性能有重要的影響。針對976 nm波段設計制備了DFB激光器的光柵。基于耦合模理論優...

 PDF全文激光與光電子學進展 | 2017, 54(12):120501

 用于半導體激光器的高效率復合波導結構

陳琦鶴 范杰 馬曉輝 王海珠 石琳琳

[摘要]提出了一種高電光轉換效率的新型復合波導半導體激光器結構(Composite Waveguide LD, CWG LD)。該器件結構高的電光轉換效率得益于其所采用的Al組分階梯分布AlxGa1-xAs波導層。通過優化設計波導層電阻率分布及能帶分布...

 PDF全文紅外與激光工程 | 2017, 46(11):1106006

 水平腔面發射半導體激光器研究進展

海一娜 鄒永剛 田錕 馬曉輝 王海珠 范杰 白云峰

[摘要]近年來, 水平腔面發射半導體激光器具有高功率、高光束質量及易封裝集成等優良性能, 已成為激光器領域的研究熱點。本文詳細闡述了幾種水平腔面發射半導體激光器的結構設計、工作原理以及激光輸出特性, 并對該激光器國...

 PDF全文中國光學 | 2017, 10(02):194

 亞波長抗反射光柵的設計

田錕 鄒永剛 海一娜 王丹 白云峰 范杰 王海珠 馬曉輝

[摘要]設計了一種具有波長和偏振模式選擇特性的GaAs材料的亞波長抗反射光柵,工作波長為976 nm。采用等效介質理論與薄膜理論對光柵進行初步設計,基于嚴格耦合波法依次對光柵占空比、脊高和周期進行優化確定,同時分析了各...

 PDF全文中國激光 | 2016, 43(09):0901004

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